秋田シリコンは各種シリコンウェーハ、ターゲット材の加工・販売を行っております。

 

ウェーハ製造プロセス

ウェーハ製造プロセス
 

シリコンウェーハ製造プロセス

シリコンウェーハ製造プロセス
フォーム
 
ドナー消去熱処理
ドナーキラー
拡散炉による熱処理を行い、結晶育成中に生成した酸素起因の不安定なドナー（Ｎ型不純物）を分解して、本来の低効率に戻します。
 
 
ラップ加工（両面機械研磨）　　【秋田シリコン工程】
ラップ
回転する上下のラップ盤の間で、
ウェーハをセットしたキャリアが回転し
スラリーを供給して両面研磨します。
 
エッチング（両面機械研磨）
エッチング
酸を混合したエッチング液中でウェーハをセットした治具を回転させながらエッチングし、前工程の機械加工による破壊層を完全に除去します。
 
ポリッシング（片面鏡面研磨）
ポリッシング
研磨布を貼ってある回転する盤にウェーハを接着したプレートを押し付け、研磨剤を供給しながら機械・化学複合作用による研磨を鏡面になるまで続けます。
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<<株式会社秋田シリコン>> 〒012-1131 秋田県雄勝郡羽後町西馬音内字五把出山5 TEL：0183-78-7147　FAX：0183-78-7146